Фізичні основи технології виробництва компонентів радіоелектронної апаратури
Викладач:
Євчик Антон Володимирович
Предмет:
Виробництво електронних апаратів
Рік видання:
2019
Автор:
В.Ф. Башев, Н.О. Куцева, О.І. Кушнерьов, С.І. Рябцев, С.М. Антропов
Спеціалізація:
Опис:
У посібнику розглянуті сучасні технології виробництва радіоелектронних компонентів, особливості формування тонких напилених плівок для мікроелектроніки, вплив фізичних та технологічних умов отримання на фазовий склад, структуру та фізичні характеристики тонких плівок. Детально викладені фізичні принципи, на яких засновані сучасні технології отримання тонкоплівкових компонентів та інтегральних схем.
