Фізичні основи технології виробництва компонентів радіоелектронної апаратури

Викладач: Башев Валерій Федорович
Рік видання: 2018
Автор: Башев В.Ф., Куцева Н.О., Кушнерьов О.І., Рябцев С.І.
Спеціалізація:

172 Телекомунікації та радіотехніка

Опис:
У посібнику розглянуті сучасні технології виробництва радіоелектронних компонентів, особливості формування тонких напилених плівок для мікроелектроніки, вплив фізичних та технологічних умов отримання на фазовий склад, структуру та фізичні характеристики тонких плівок. Детально викладені фізичні принципи, на яких засновані сучасні технології отримання тонкоплівкових компонентів та інтегральних схем. Для студентів спеціальності 172 «Телекомунікації та радіотехніка» факультету фізики, електроніки та комп’ютерних систем ДНУ.